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真空常用計算公式

訪問: / 發布時間:2020-07-07

1、玻義爾定律
體積V,壓強P,P·V=常數
一定質量的氣體,當溫度不變時,氣體的壓強與氣體的體積成反比。
即P1/P2=V2/V1

2、蓋·呂薩克定律
當壓強P不變時,一定質量的氣體,其體積V與絕對溫度T成正比。
V1/V2=T1/T2=常數
當壓強不變時,一定質量的氣體,溫度每升高(或P降低)1℃,則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。

3、查理定律
當氣體的體積V保持不變,一定質量的氣體,壓強P與其絕對溫度T成正比,即:
P1/P2=T1/T2
在一定的體積下,一定質量的氣體,溫度每升高(或降低)1℃,它的壓強比原來增加(或減少)1/273。

4、抽速:
S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P
Q=流量(托·升/秒) P=壓強(托)  V=體積(升) t=時間(秒)

5、真空抽氣時間:
對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式:
t=8V/S (經驗公式)
V為體積,S為抽氣速率,通常t在5~10分鐘內選擇。

6、維持泵選擇:
S維=S前/10

7、擴散泵抽速估算:
S=3D2 (D=直徑cm)

8、羅茨泵的前級抽速:
S=(0.1~0.2)S羅 (l/s)

9、粗抽泵的抽速選擇:
S=Q1/P預 (l/s);
S=2.3V·lg(Pa/P預)/t;
S-機械泵有效抽速,Q1-真空系統漏氣率(托·升/秒),P預-需要達到的預真空度(托),V-真空系統容積(升),t-達到P預時所需要的時間,Pa-大氣壓值(托)

10、前級泵抽速選擇:
排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據管路中,各截面流量恒等的原則有:
PnSg≥PgS
Sg-前級泵的有效抽速(L/S)
Pn-主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(L/S)
Pg-真空室最高工作壓強(托)
S-主泵工作時在Pg時的有效抽速。(L/S)


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